真空镀膜专用电源解决方案

一、产品简介：

MSG-DM系列镀膜用直流电源是我公司根据真空镀膜设备的特点定为设计的新型产品，针对真空镀膜中需求的灯丝电源、电子枪、偏转线圈、磁场线圈等电势，采用先进的PWM脉宽调制技术，具有良好的动态特性和抗干扰能力，动态响应时间≤20mS。设计有电压、电流双闭环控制电路，可实时对输出电压电流的控制，能有效解决溅射过程中阴极靶面的不清洁引起弧光放电造成大电流冲击引起电源的损坏问题。采用数字化DSP控制技术，自动控制电源的恒压恒流状态。在起弧和维弧时能自动快速控制电压电流使起弧和维弧工作更稳定，稳流精度大大提高，能有效节约靶材用量，提高产能，保证镀膜质量。

二、带给客户的价值：

Ø 提升镀膜产品的出厂合格率15%~20%

Ø 检测产品在镀膜过程中的不良品，有效降低不良品率10%~15%

Ø 提高镀膜产品的一致性，有效提升良品率10%~15%

Ø 有效提高产品的品质，为厂家创造市场竞争力5%~10%

Ø 节约时间、有效降低成本，合理利用用户30%/年 价值

三、产品亮点：

Ø ZVS零电压移相全桥技术，高精度输出电压、电流

Ø 标准19尺寸机箱，合理利用实验室、工厂空间

Ø 自有EMI电磁兼容技术，对电网输入、直流输出超低干扰

四、产品性能：

Ø 采用先进的PWM脉宽调制开关电源技术，体积小、效率高、运行稳定、噪声低、对电网干扰小，在节能和镀膜工艺的稳定性上比传统电源有明显的优势。

Ø 采用DSP数字化控制技术，在电网电压波动和负载大幅度波动（弧光放电情况下）情况下保证电源高效、稳定地工作，充分保证镀膜工艺的重复性，精确控制膜厚和减少靶材用量。

Ø 针对新靶清洗时存在的频繁打火现象, 设计了抑制打火自动保护功能，既保证了靶面清洗工艺的稳定性，又提高了靶面清洗速度。

Ø 具有电压陡降特性,可充分满足磁控溅射的特殊要求。

Ø 电源的输出电压电流控制精度小于0.2%。

Ø 具有本机控制和远程控制两种模式，默认本机控制，在远程控制模式下用户的计算机通过RS485接口，控制电源的输出电压和电流，显示电源的工作状态。

Ø 具有模拟量控制接口,用户的4-20mA信号能控制电源的电压电流，电源输出4-20mA信号供用户的PLC显示电源的输出电压电流。

Ø 电源的功率因数高达0.95，电源效率≥90%

五、产品选型：

※ 以上规格是常规选型，特殊要求可以定制